Qaab dhismeedka Sensor Piezoresistive

Dareemkan, xariijinta iska caabintu waxay ku dhex jirtaa diaphragm silikoon monocrystalline iyadoo la raacayo habka isdhexgalka si loo sameeyo chip silikoon piezoresistive, iyo durugsanaanta chip-kan ayaa si go'an loogu baakadeeyay qolofka, iyo hogaanka korantada ayaa la soo saaray. Dareemka cadaadiska Piezoresistive, oo sidoo kale loo yaqaano dareenka cadaadiska gobolka adag, wuu ka duwan yahay cabbirka cadaadiska dhejiska, kaas oo u baahan inuu dareemo xoogga dibadda si aan toos ahayn iyada oo loo marayo walxaha xasaasiga ah ee jilicsan, laakiin si toos ah u dareemaya cadaadiska la qiyaasay iyada oo loo marayo diaphragm silicon.

Dhinac ka mid ah diaphragm silikoon waa dalool cadaadis sarreeya oo la xidhiidha cadaadiska la cabbiray, dhinaca kalena waa dalool cadaadis hooseeya oo la xidhiidha jawiga. Guud ahaan, diaphragm silikoon waxaa loo qaabeeyey sidii goobaabin leh durugsan go'an, iyo saamiga dhexroorka ilaa dhumucdiisuna waxay ku saabsan tahay 20 ~ 60. Afarta xabbo ee caabbinta nadiifka ah ee P ayaa lagu faafiyaa gudaha gudaha diaphragm silicon wareeg ah waxayna ku xiran yihiin buundada buuxda, laba ka mid ah kuwaas oo waxay ku sugan yihiin aagga diiqada cadaadiska iyo labada kale waxay ku sugan yihiin aagga stress-ka, kuwaas oo u dhigma marka loo eego bartamaha diaphragm.

Intaa waxaa dheer, waxaa sidoo kale jira diaphragm silikoon labajibbaaran iyo dareeraha tiirarka silikon. Dareemka cylindrical Silicon waxa kale oo laga sameeyey xariijimo iska caabin ah iyadoo lagu faafinayo jihada qaar ka mid ah diyaarada crystal ah ee silikoonka, iyo laba xariijimo adkaysi u adkaysta stress iyo laba cadaadis cadaadis cadaadis caabbinta ka samaysan buundada buuxda.

Dareemka Piezoresistive waa aalad lagu sameeyay iska caabin faafin oo ku saabsan substrate-ka walxaha semiconductor iyadoo loo eegayo saameynta piezoresistive ee walxaha semiconductor. Substrate-keeda si toos ah ayaa loo isticmaali karaa sida dareeraha cabbiraadda, iyo caabbinta faafinta waxay ku xiran tahay substrate qaab buundada.

Marka substrate-ka uu qalloocan yahay xoog dibadeed, qiyamka iska caabinta ayaa isbedeli doona oo buundada waxay soo saari doontaa wax soo saar aan dheeli tirnayn. Substrates (ama diaphragms) loo isticmaalo sida dareemayaasha piezoresistive waa inta badan wafers silicon iyo wafers germanium. Dareemayaasha Silicon piezoresistive ee ka sameysan wafers silikoon sida walxaha xasaasiga ah ayaa soo jiitay dareenka aad iyo aad u badan, gaar ahaan dareemayaasha adag ee piezoresistive ee cadaadiska iyo xawaaraha ayaa ah kuwa ugu badan ee la isticmaalo.